在半导体产业的可靠性测试环节中，高精度半导体老化箱是核心设备之一。其通过模拟苛刻环境与工作应力，加速半导体器件的老化过程，帮助提前识别潜在问题陷、验证产品长期稳定性，为器件设计优化与生产工艺改进提供关键依据。

一、核心功能?？?/span>

核心功能?？槭歉呔劝氲继謇匣涫迪植馐阅勘甑幕。饕械；肪衬Ｄ庥胗ακ┘恿酱蠛诵娜挝?，包括温度控制模块与器件应力施加?？?，二者协同构建符合测试需求的老化环境。

温度控制?？楦涸鹉Ｄ獍氲继迤骷谑导视τ弥锌赡茉庥龅目量涛露忍跫?。该?？橛杉尤鹊ピ?、制冷单元及均匀化装置组成，能够实现宽范围的温度调节。加热与制冷单元通过闭环控制逻辑，快速响应温度设定值，维持腔体内部温度稳定。均匀化装置通过气流循环设计，确保腔体内温度分布均匀，避免局部环境差异对测试结果产生影响，为所有测试器件提供一致的环境基准。

器件应力施加?？橛糜谖氲继迤骷峁┕ぷ鞴讨械牡缬αΓＤ馄涫导试诵凶刺?。该?？榘嗦返ザ赖牡缭垂┯Φピ?，可根据测试器件的规格，为每个测试工位单独设定电压、电流等工作参数。电源供应单元具备稳定的输出特性，能够在长期测试过程中维持参数恒定，确保施加的电应力符合测试方案要求。同时，?？橹С侄嗬嘈推骷逝洌陕悴煌庾?、不同功能半导体器件的测试需求，提升设备的通用性。

二、辅助支撑系统

辅助支撑系统虽不直接参与测试核心流程，但为系统的稳定运行、测试安全及操作便捷性提供重要保障，主要包括结构防护系统、气路与液路系统及安全?；は低?。

结构防护系统是老化箱的基础框架，采用密闭式腔体设计，具备良好的保温、隔热与密封性能，减少外界环境对内部测试条件的干扰。腔体内部采用耐腐蚀、耐高温的材料制作，避免与测试环境中的介质发生反应，保障设备使用周期与测试安全性。腔体外部配备操作门与观察窗，操作门设有密封装置，观察窗采用耐高温、防雾设计，方便操作实时观察腔体内器件状态，且不影响内部环境稳定性。

气路与液路系统为测试过程提供介质传输与循环支持。气路系统负责腔体内部的气流循环与换气，确保温度均匀分布，同时可根据测试需求引入特定气体，模拟特殊工作环境。液路系统主要为制冷、加热单元提供冷却或加热介质循环，保障温度控制模块的正常运行。

安全保护系统是保障设备与操作安全的关键。该系统集成了多重防护机制，包括过温?；?、过压?；?、漏电保护、低液位?；さ?。当设备运行过程中出现温度超标、电压异常、介质泄漏等情况时，安全?；は低郴崃⒓雌舳ぞ疲⒆远扇⊥；⑶卸系缭吹扔贝胧?，防止设备损坏与安全事故发生。

高精度半导体老化箱的系统构成围绕准确模拟、稳定运行、数据可靠的核心需求展开，核心功能?？?、辅助支撑系统与控制数据处理单元相互配合、协同工作，共同实现对半导体器件的高精度老化测试。