常应用于对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。
制冷系统过热、过流自动?；ぁ?/div>
微型高低温冷却循环器使用前的准备
1、次使用时，应拿开上盖，加入水或不冻液，加离顶盖上口3CM为止。
2、把所有的冷却循环泵，接入到实验所用的系统中，用保温软管接该设备进出液口与实验仪器的进出液口对应连接好。此循环为密闭系统循环。
3、如果只用冷却循环泵作业时，把循环液出进、连接起来即可。
4、当槽内液体为可燃易爆时,严禁开启加热。
5、控制35度以下时,如控温要求不高,只要打开制冷开关,关闭加热开关,把参数降温制冷回差dn设定为-0.2度,靠压缩机起停来控温。如控温要求高,打开制冷开关,加热开关,把参数降温制冷回差dn设定为10度,压缩机不停,靠加热来控温。
6、控制35度以上时,只要打开加热开关,关闭制冷开关。
